DHTChiller-SE65 半导体用高精度冷水机

1.来自欧洲的设计

2.低故障率 长寿命 低噪音

3.可选支持超过100步的温度循环控制

4.可选支持温度斜率控制要求

5.可选满足IP防护54要求

6.可选风冷或者水冷冷却方式

7.可选宽范围的运行环境要求

8.符合欧洲标准的能耗以及环保要求

9.可选前瞻的工业4.0互联功能，标配Rs232，网口，支持Modbus RTU 和Modbus TCP通讯协议，支持USB输出导出导入

10.无触屏运行

11.可选多级用户管理

12.可选动态控温控流量任务

13.多种接口配套方案可选

14. 高投入与多工序管理：半导体行业投入巨大，制造工序繁多。DHTChiller-SE 帮助客户在每个环节进行严格的质量把控，提高产品良品率，确保收益。
15. 温度稳定性与精准度：温度是影响半导体产品质量的关键因素。DHTChiller-SE 提供高稳定性和高精准度的温度控制，保障产品的稳定性和可靠性。
16. 全流程支持：DHTChiller-SE 循环冷却器和水-水热交换器支持半导体工艺的前端到后端整体流程，满足不同环节的温度需求。
17. 丰富的经验与专业知识：拥有超过16年的温度控制经验和与知名主设备机台直接配套的经验，DHTChiller-SE 为客户提供标准化和定制化的温度控制产品，结合专业技术知识，确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。
18 全球化服务：DHTChiller-SE 提供全球化服务，确保在全球范围内的半导体客户都能获得及时的技术支持和服务。

1. 硅片制造：提供稳定冷却，确保化学机械抛光（CMP）效果均匀，提高硅片质量。
2. 沉积：控制薄膜沉积过程中的温度，避免质量不均。
3. 光刻：调节曝光过程中的温度，防止光刻胶流动，提高光刻精度。
4. 刻蚀：稳定刻蚀环境，防止过热导致的刻蚀不均。
5. 离子注入：冷却离子注入过程中的热量，确保离子分布均匀。
6. 清洗：控制清洗液温度，提高清洗效果。
7. 电镀：保持电镀液温度，确保镀层均匀和结合力强。
8. 测试：提供恒定测试环境，确保测试数据准确。